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膜厚儀F3-sX系列

F3-sX 系列膜厚儀F3-sX 系列膜厚儀能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度不好;波長(cháng)選配F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導體)。 F3-s980 是波長(cháng)為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應用而設計,F3-s1310是針對重摻雜硅片、GaAs或InP等不透明基片與減薄片的良好設計,F3-s155

  • 品牌:Filmetrics
  • 型號:F3-sX系列

F3-sX 系列膜厚儀


F3-sX 系列膜厚儀能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度不好;


波長(cháng)選配

F3-sX系列使用近紅外光來(lái)測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導體)。 F3-s980 是波長(cháng)為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應用而設計,F3-s1310是針對重摻雜硅片、GaAs或InP等不透明基片與減薄片的優(yōu)化設計,F3-s1550則是為了超厚的薄膜設計。

附件

附件包含自動(dòng)化測繪平臺,一個(gè)影像鏡頭可看到量測點(diǎn)的位置以及可選配可見(jiàn)光波長(cháng)的功能使厚度測量能力薄至15奈米。


型號厚度范圍*波長(cháng)范圍
F3-s98010μm - 1mm960-1000nm
F3-s131015μm - 2mm1280-1340nm
F3-s155025μm - 3mm1520-1580nm

厚度范圍 (n=1.5)*

 

1nm
10nm
100nm
1μm
10μm
100μm
1mm
10mm


 

F20 系列
F3-s980
VIS Extension
F3-s1310
VIS Extension
F3-s1550



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