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光譜共焦位移傳感器原理是什么? 瀏覽量:845 | 發(fā)布時(shí)間:2022-08-16

  光譜共焦位移傳感器作為一種新型的高精度測量裝置,具有非接觸、高精度、高穩定性等特點(diǎn),那么我們作為新型測量數據技術(shù)的光譜共焦的原理是什么呢?

  一束白色(或多波長(cháng))光通過(guò)一個(gè)小孔,穿過(guò)一個(gè)透鏡,將不同波長(cháng)的光聚焦到光軸上,形成一個(gè)色散狀的彩虹形分布帶,照亮樣品并將一些反射的光反射回去。(如下圖左所示)照射在光軸與物體進(jìn)行表面沒(méi)有交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)一個(gè)分光系統部件,通過(guò)這些小孔照射到光譜分析儀。透鏡到被測物體的距離可根據波長(cháng)計算

  作為一種新型的非接觸式高精度測量技術(shù)設備,精度分析可以通過(guò)達到亞微米級別,比如我們可以直接用來(lái)進(jìn)行測量數據透明物體的厚度,以及發(fā)展輪廓、位移、高度、2d3d曲面弧度掃描、不透明物體的厚度測量、振動(dòng)系統測量、深孔、液位測量、微槽、平面度測量方法等等。

  在手機行業(yè)中,如彎蓋玻璃檢測、手機主板檢測、按鍵尺寸或高度檢測、芯片檢測、攝像頭模塊檢測、手機攝像頭模塊檢測等。半導體技術(shù)行業(yè),芯片控制引腳平整度檢測,晶圓深度和厚度可以檢測。玻璃厚度、弧度等測量精度要求高的部分產(chǎn)品。

  以上是上海納嘉儀器有限公司小編對光譜共焦位移傳感器原理是什么的見(jiàn)解,希望對您所有幫助。

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