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探針式輪廓儀原理及應用 瀏覽量:1091 | 發(fā)布時(shí)間:2022-08-23

  探針輪廓儀使用在表面上移動(dòng)的探針的高度和波動(dòng)來(lái)確定被測表面輪廓。探針式輪廓儀的測量是一種接觸式方法,它能夠精密的測量薄膜的高度,臺階高度,2D形貌,表面粗糙度等參數。探針式輪廓儀的接觸力只有幾毫克,因此不會(huì )劃傷零件表面。

  D-300探針輪廓儀基本測量參數

  ·臺階高度:幾納米至1000μm

  ·低觸力:0.5至15mg

  ·視頻:500萬(wàn)像素率彩色攝像頭

  ·梯形失真校正:消除側視光學(xué)系統引起的失真

  ·圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差

  ·緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀

  主要的應用

  ·臺階高度:2D臺階高度

  ·紋理:2D粗糙度和波紋度

  ·形式:2D翹曲和形狀

  應用案例

  臺階高度

  D-300探針式輪廓儀可以測量從幾個(gè)納米到1000μm的2D臺階高度。Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。

  紋理:粗糙度和波紋度

  D-300測量2D紋理,量化樣品的粗糙和波紋度,軟件過(guò)濾功能可以測量值分離為粗糙度和波紋度部分,并且計算諸如均方根粗糙度之類(lèi)的參數等。

  外形:翹曲和形狀

  D-300可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,比如說(shuō)在半導體或者化合物半導體器件生產(chǎn)過(guò)程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致翹曲產(chǎn)生的主要原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

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